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Mikrosystemtechnik 10

Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot-Interferenzdisplays mit hydrophobisierten Bildpunktmembranen - Thomas Knieling

Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot-Interferenzdisplays mit hydrophobisierten Bildpunktmembranen

Thomas Knieling

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Mikro- und nanoelektromechanische Resonatoren für die Sensorik - Christian Förster

Mikro- und nanoelektromechanische Resonatoren für die Sensorik

Christian Förster

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Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten - Gregor Smolka

Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten

Gregor Smolka

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Untersuchungen zur Koordinatenmesstechnik für Mikrosysteme in zweieinhalb Dimensionen - Dorothee Hüser

Untersuchungen zur Koordinatenmesstechnik für Mikrosysteme in zweieinhalb Dimensionen

Dorothee Hüser

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Mikrosystemtechnische schaltbare Interferenzfilter als optische Schalter für Displayanwendungen - Meik Panitz

Mikrosystemtechnische schaltbare Interferenzfilter als optische Schalter für Displayanwendungen

Meik Panitz

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Resonante mikromechanische Energiewandler (Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS) - Ingo Kühne

Resonante mikromechanische Energiewandler (Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS)

Ingo Kühne

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Entwurf und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen Drehratensensors - Alexander Kulygin

Entwurf und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen Drehratensensors

Alexander Kulygin

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Miniaturisiertes Dosiersystem zur geregelten Dosierung von Tinte in einem Schreibgerät - Günther Waibel

Miniaturisiertes Dosiersystem zur geregelten Dosierung von Tinte in einem Schreibgerät

Günther Waibel

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Thermisches Ausdehnungsverhalten von MoCu-, WCu-Werkstoffen und FeNi-Schichten für mikrosystemtechnische Anwendungen - Bora Kocdemir

Thermisches Ausdehnungsverhalten von MoCu-, WCu-Werkstoffen und FeNi-Schichten für mikrosystemtechnische Anwendungen

Bora Kocdemir

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Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen - Robert Sattler

Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen

Robert Sattler

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