Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen (Mikroelektronik)Günter Schumicki
B, Broschiert
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in C M O S-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von C M O S-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
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