Mikrosystemtechnik 03

Online-Testverfahren in der Mikrosystemtechnik. Untersuchung und Entwicklung von Selbsttestverfahren zur Unterstützung des Entwurfs von selbsttestfähigen diskreten Sensorsystemen

Detmar Westphal

Entwurf und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen Drehratensensors (Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik - Recent Developments in MEMS)

Alexander Kulygin

Miniaturisiertes Dosiersystem zur geregelten Dosierung von Tinte in einem Schreibgerät (Mikrosystemtechnik)

Günther Waibel

Thermisches Ausdehnungsverhalten von MoCu-, WCu-Werkstoffen und FeNi-Schichten für mikrosystemtechnische Anwendungen (Berichte aus der Materialwissenschaft)

Bora Kocdemir

Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen (Selected Topics of Electronics and Micromechatronics ... Probleme der Elektronik und Mikromechatronik)

Robert Sattler

Beitrag zur Untersuchung von passiven planaren Hochgeschwindigkeitsmagnetlagern für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik

Markus Klöpzig

Mikroapplikation von ungefüllten Klebstoffen zum Kleben in der Mikrosystemtechnik (Aachener Berichte Fügetechnik)

Markus Möller

Plasmagestützte Ionenquelle in Mikrosystemtechnik für den Einsatz in einem miniaturisierten Massenspektrometer

Peter Siebert

Faseroptische Sensoren zur Prozeßüberwachung in der Mikrosystemtechnik

Benno Bröcher

MOS-kompatible Temperaturerfassung zur On-Chip Temperaturkompensation auf Single-Chip Mikrosystemen

Thorsten Kunig