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Ingenieurwissenschaften

Mikrosystemtechnik 04

Mikrotechnische Drehratengyroskope mit hoher Genauigkeit (Berichte aus der Mikromechanik) - Wolfram Geiger

Mikrotechnische Drehratengyroskope mit hoher Genauigkeit (Berichte aus der Mikromechanik)

Wolfram Geiger

Taschenbuch


Mikrosystemtechnische Realisierung von Induktivitäten - Florian Wiest

Mikrosystemtechnische Realisierung von Induktivitäten

Florian Wiest

Taschenbuch


Entwurf, Herstellung und Charakterisierung piezoresistiver oberflächen-mikromechanischer Drucksensoren - Thomas Lisec

Entwurf, Herstellung und Charakterisierung piezoresistiver oberflächen-mikromechanischer Drucksensoren

Thomas Lisec

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Integration von Sensoren mittels additiver Mikrogalvanik - Bernhard Elsner

Integration von Sensoren mittels additiver Mikrogalvanik

Bernhard Elsner

Taschenbuch


Mikrosystemtechnische Vibrationssensoren zur automatisierten Zustandsüberwachung von Drehwerkzeugen - Jochen Thomas

Mikrosystemtechnische Vibrationssensoren zur automatisierten Zustandsüberwachung von Drehwerkzeugen

Jochen Thomas

Taschenbuch


Statistische Prozessregelung von Fertigungs- und Messprozess zur Erreichung einer variabilitätsarmen Produktion mikromechanischer Bauteile ... für Produktionstechnik Universität Karlsruhe) - Matthias Schlipf

Statistische Prozessregelung von Fertigungs- und Messprozess zur Erreichung einer variabilitätsarmen Produktion mikromechanischer Bauteile ... für Produktionstechnik Universität Karlsruhe)

Matthias Schlipf

Taschenbuch


Die fertigungsnahe Qualitätssicherung und Prozessregelung von hybriden Mikrofertigungsprozessen steht insbesondere vor zwei Herausforderungen. Erstens sind die Qualitätsergebnisse von Mikrofertigungsprozessen durch eine hohe Variabilität aufgrund von Größeneffekten sowie veränderten Umwelt- und Prozessbedingungen im Mikrobereich charakterisiert. Zweitens liegt bei den hohen Genauigkeitsanforderungen im ( Sub-) Mikrometerbereich die Streuung des Messprozesses in der Größenordnung der Streuung des Mikrofertigungsprozesses und erschwert die Entscheidung über Annahme oder Ablehnung des Messobjektes bezogen auf dessen Funktionstüchtigkeit. Die vorliegende Arbeit setzte sich daher zum Ziel, zum Einen eine Methodik zur kontinuierlichen Reduzierung der Variabilität von Mikrofertigungsprozessen und zum Anderen ein Werkzeug zur kontinuierlichen Visualisierung, Überwachung und Trennung der Streuung von Fertigungs- und Messprozess zu entwickeln.

Injektionssystem und Massenflussregler in Mikrosystemtechnik für die Gaschromatographie - Olaf Krusemark

Injektionssystem und Massenflussregler in Mikrosystemtechnik für die Gaschromatographie

Olaf Krusemark

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Wirbelblendendurchflusszähler mit mikrotechnischer Signalwandlung (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik) - Oliver Berberig

Wirbelblendendurchflusszähler mit mikrotechnischer Signalwandlung (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik)

Oliver Berberig

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Baukastenbasierte Entwicklungsmethodik für die rechnerunterstützte Konstruktion von Mikrosystemen (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik) - Udo Triltsch

Baukastenbasierte Entwicklungsmethodik für die rechnerunterstützte Konstruktion von Mikrosystemen (Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik)

Udo Triltsch

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Entwicklung temporärer Kontaktelemente für die Mikrosystemtechnik (Berichte aus der Elektrotechnik) - Clemens Krüger

Entwicklung temporärer Kontaktelemente für die Mikrosystemtechnik (Berichte aus der Elektrotechnik)

Clemens Krüger

Taschenbuch


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